Simco-Ion 的 型号 5225 离子棒，以数码电路设计和透过软件操控，满足设备内的防静电需求。它提供高离子输出量，能快速中和晶圆上的静电，符合 E78 标准上最严格的要求。棒身以空气动力学设计和高洁净度材料制造，使得 5225 离子棒在微型洁净室内，完全发挥静电防控能力，而不干扰室内层流气流。

5225 离子棒能结合设备系统，使用预编软件或开放的源代码范例，与设备接口的无缝连接，作出低成本的静电防控方案，减低维护费用，和有更好的警报功能。系统警报和信息能交替显示在设备控制器上，另有设备监控输出作其他警报提醒。

设备智能的结合
Simco-Ion 专门开发的软件，更易于集成设备系统，它有三个部分，可以完全配合需求：

• 文件完整的 API 接口，能减少集成的时间和费用。
• 在 Visual C/C++下的开发源代码和应用参考，可用来设计和结合系统控制软件，又或作为一个应用程序在单独的电脑运作。
• 离子棒的硬件模拟器，可允许在没有离子棒的情况下，开发监控软件。

Simco-Ion 强大的软件系统提供全面的离子棒控制，设置包括：工作模式调整 (脉冲模式，稳态模式，待机)，信号同步，电离开关时间，输出功率，正负极的警报阈值，每根棒都能独立设置。精准的警报和维修检测，也能降低的故障耗时和诊断工作。

• 能与设备控制器完全结                                                           • 使用配置的器材 或者 透过 IonMonitor 软件 可
• 每根离子棒的参数完全可调                                                       以操控它的参数设置、运作模式和维护程序

• 离子输出的监察                                                                     • 在设备的每个安装区域，可以根据个别需求，微
• 离子输出的监察                                                                       调操作参数

• 多种长度选择，有三款长度是专为 EFEMs                                   • 离子输出和效能稳定更能保持一致
设计的 • 可以满足不同的应用需求

• 单晶硅静电针                                                                         • 经业内验证的超高洁净的静电针材质，不会对晶
圆造成污染