Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平衡，是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整，使它达到超越 ISO Class 1 洁净水平的
“Extended ISO Class 1”洁净度，适合更微小的先进技术制程。选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更远的工作距离。
Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距是 5 cm，这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。
• ISO 14644-12 (0.01 mm 微粒) 洁净度 • 可兼容包括 14 nm 和以下的所有晶圆技术
• 调制脉冲技术 • 精准的正负平衡，高离子输出量，和长期稳定
• 卓越的横向均匀度 • 整根棒的离子平衡都一致
• 低电场电压 • 可安全靠近晶圆或光罩，放置距离可近至 15 cm
• 吹气辅助功能 • 在快速的自动设备，能增强消除静电的能力
• 选配的软件有易用的介面和宽阔的可调性 • 在任何环境都能快速设定和容易调至最佳效能
• 警报输出信号 • 能输出至设备或远端监控系统
型号 5635 MP 离子棒的设计是使用在 ISO 14644-1 Class1 洁净度的环境 (每立方米少过 10 粒 @ ≥0.1 micron 的微 粒）。如把输出功率设在 45-50% 和使用 OpenJet 风嘴和单晶硅静电针，它可兼容 ISO 14644-12 洁净度 (每立方米少过 1200 粒 @ ≥0.01 micron 的微粒)。
ISO 14644-1 (1999) 定义 9 个级别的微粒数量限定。当空间内每立方米的漂浮微粒数量不超过该级别的 限定，空间的洁净度就符合该级别。下列图表摘要级别的 0.1 micron 至 5micron 的微粒数量限定。
型号 5601 电源分配盒可作为中央电源和软件控制，能连接 8 根 5635 MP 离子棒。
Aerobar 5635 MP 离子棒只要连上 24 VDC 电源即可工作，如需要也可接入气源作吹气辅助。DIP 开关 可设定功率输出，可根据说明书的建议，设定需要的消散效能。然后在棒上微调操作参数，或透过连接 的电脑软件调
节，以达到最佳的离子平衡，最小的电压摆幅，和最快的消散时间。在信号和电源的接线盒上的警报连 接能输出至设备或中央控制室作远端设备监控。
