Simco-Ion 沿线超高洁净氮气离子产生器型号 4214 是特别为了电离氮气而设计，能把电离
氮气的离子送至超高洁净要求的半导体和其他高纯洁净度的制程。 一般市面上的氮气离子产
生器都要求在氮气流内加进少许气体以产生离子，而这个先进工艺的离子产生器采用一个小
而高效的电源，就可电离氮气。型号 4214 离子产生器利用高频交流电离技术，能提供快速
的消散时间，有效地中和静电。微控处理和细小体积，能容易整合需要氮离子产生器的设备。
超高洁净的设计和内置微粒采集系统，能确保是最干净的离子产生器，兼容和提供要紧半导体
制程的静电中和。只需提供不间断的氮气通过型号 4214，产生的氮离子就能满足
Extended ISO Class 1 洁净度，适合在 22 nm 和以下的所有晶圆技术制程工作。
• Extended ISO Class 1 洁净度* • 提供最洁净的离子产生器以符合超高洁净要求
• 警报显示 - 低离子输出量需维护，高压电源 的制程，是在 22 nm 和以下的所有晶圆技术中
失效，低气体流量 最理想的静电中和工具
• 待机模式 • 恒常监控离子产生器的工作，以保障连续工作和
• 自我平衡 维持在最理想的效能
• 气流量过低时自动关机 • 在待机模式下可减少用气量，又可快速启
• 体积小巧 产生器，迅即可工作。 • 免除调较和繁琐的设定
• +24 VDC 电源输入 • 是针对设备内有限的安装空间而设计
• 避免损害产品 • 可轻易整合和利用设备上的电源
* 请看后页有关 Extended ISO Class 1 洁净度的定义
为了满足现今更微小的先进技术制程，Simco-Ion 自定义了一个标准 - “Extended ISO Class 1”，
它是用 ISO14644-1 为基础，然后延伸到 >0.01 micron (>10 nm) 微粒，和使用典型的凝聚核计
数器 Condensation NucleusCounter (CNC) 作测量。延伸方程式是以 ISO 14644-1Class 所定
义的，和利用它的洁净度极限线集来作外延。当外延时，相等和大于 0.01 micron 的微粒的容许
数量是 1200particles/m3 (34 particles/ft3)。Simco-Ion 没有更改 ISO14644-1 标准，只是延伸
方程式至更微细的微粒，更多关于ISO 14644-1 的资料 可在 www.iso.org 网站查找。
型号 4214 离子产生器是一个独立的器件，能提供高压电源，有超洁净的离子产生元件，
和界面接口可作遥控监察工作情况和控制离子产生，全都在安放在4214 小盒子内。用户
把氮气输入 4214，所产生的离子就可送到静电敏感区或所需的制程，客制复合管道或喷
嘴可对应覆盖面积要求而设计。
