产品特点：
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对于一般大气中晶圆(wafer)等带电电位衰減至1/10,於1S以內的短时间內除电。
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与瓦斯的流动狀态无关,可获得安定的除电性能。由于被光照射到的空间內广范围地將瓦子化,因此,即使除电对象物附近存在不穩定的气流,也不影响除电性能。
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平常完全不须维护,仅需依软X线管头的耐用期限(8000h)更换即可。
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由于正负离子及电子平均分布于空间內,因此除电对象物的残留电位可定为0V。
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由于光直接离子化,因此,在大气压下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除电。
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由于是光照射之离子系统,因此,完全不发尘,电磁杂讯(noise)也几乎无发生。
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依高能量光使得空气中的氧气分子也加速离子化,因此,几乎沒有产生臭氧(ozone)。
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构成本系统的机器,仅有软X线管头及电力装置2項,在制造装置.搬运上易安裝。
除电原理：
除电性能和距离的关系：
产品外观图：产品规格：
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型号
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ISXH-224
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除电方式
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软X射线照射方式
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尺寸
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38×75×100mm（W×H×D）
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光源
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软X线管
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消费电力
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100VA
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冷却方式
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自然空冷却式
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材质
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机体：铝钢板/磨砂 放射口:铍
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质量
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约0.4kg
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产品用途：
l 电子设备的制造、组装工程。
l 照相机、钟表、精密机械零件的制造、组装工程。
l 食品、化妆品容器等的加工、填充工程。
l 纸张、薄膜(film)、薄板(sheet)类的卷、裁切工程。
l 成型机內的除电。
l 防止附着于Parts feeder等振动制品。
l 防止软片.感光材料之static mark。